浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司中欣晶圆大直径硅片外延项目环境影响评价信息公示
根据《中华人民共和国环境影响评价法》、《浙江省建设项目环境保护管理办法》及《环境影响评价公众参与暂行办法》等,建设项目环境影响评价工作阶段应进行公示,接受公众对建设项目有关情况的问讯,为此,现将浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司中欣晶圆大直径硅片外延项目及其环境影响评价有关信息进行公示。
一、建设项目基本情况
项目名称:中欣晶圆大直径硅片外延项目
建设单位:浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司
建设地点:丽水南城七百秧区块D-28-5工业地块
建设内容及规模:浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限位于得丽水南城七百秧区块D-28-5工业地块,地块总占地面积92659m2,拟在该地块新建厂房、仓库及附属设施,实施大直径硅片外延项目 。项目主要采用SC-1清洗、HF清洗、外延生长、检测的生产技术工艺,购置Wafer移载机、外延炉、洗净机、颗粒测试仪等国产、进口设备,项目建成后将形成年产120万片200mm半导体硅外延片和240万片300mm半导体硅外延片的生产能力。
二、评价范围内主要环境敏感目标分布情况
根据调查,目前项目评价范围内主要环境敏感目标分布情况见下表:
表1 环境保护目标
名称 | 坐标/° | 保护对象 | 保护内容 | 环境功能区 | 相对厂址 方位 | 相对 距离 | ||
经度 | 经度 | |||||||
大气环境 | 秀山小区 | 119.878565 | 28.407453 | 居民区 | 人群 | 环境空气二类区 | N | 417m |
顺生彩虹城 | 119.882921 | 28.392787 | 居民区 | 人群 | SE | 612m | ||
规划丽水技师学院 | 119.889127 | 28.393594 | 学校 | 人群 | SE | 1km | ||
秀山小学 | 119.872385 | 28.410232 | 学校 | 人群 | NW | 840m | ||
华鸿中央城 | 119.872333 | 28.410222 | 居民区 | 人群 | NW | 450m | ||
规划居住及商业用地 | 119.857155 | 28.402866 | 居民区 | 人群 | W | 730m | ||
桂雨江南小区 | 119.870518 | 28.404009 | 居民区 | 人群 | W | 580m | ||
规划居住地块 | 119.816957 | 28.388919 | 居民区 | 人群 | NW | 890m | ||
碧桂苑 | 119.820296 | 28.401743 | 居民区 | 人群 | SW | 2.2km | ||
南城绿都 | 119.854347 | 28.412188 | 居民区 | 人群 | N | 2.2km | ||
地表水 | 大溪 | 地表水 | 水质、水生生态 | 地表水Ⅲ类 | W | 4.3km | ||
声环境 | 项目周边200m范围 | 声环境3类 | / | / | ||||
土壤环境 | 项目评价范围内无耕地、园地、居民区、学校、医院等土壤环境敏感目标 |
三、主要环境保护措施及环境影响预测分析情况
根据分析,项目营运期间产生的污染物主要包括废气、废水、噪声和固废,拟采取的污染防治措施及影响情况如下:
表2 污染治理措施一览表
时段 | 项目 | 环保措施 |
施工期 | 废气 | 施工现场洒水抑尘,规范水泥拆包、混凝土搅拌的操作,粉性材料堆放在室内,减少粉尘影响。 |
噪声 | 选用低噪声机械设备;禁止夜间进行产生噪声污染的施工,必要的夜间施工在施工前向当地环保部门申请审批,并公告周边居民及企业;加强施工管理。 | |
废水 | 加强用水管理,节约用水;施工人员如厕可借用附近厕所,生活污水经化粪池处理达标后纳入市政污水管网,进入污水处理厂统一处理。 | |
固废 | 生活垃圾集中、分类收集,由环卫部门统一清运,处置;对于建筑垃圾应进行分拣,可以回收利用的部分应积极进行综合利用,不能利用的建筑垃圾送至城管部门指定的地点堆放,严禁随意运输,随意倾倒。 | |
营运期 | 废水 | ①根据现场调查,厂区排水体制已基本实现雨污分流,后期洁净雨水收集后纳入雨水管网; ②根据开发区环保管理要求,去离子水制备过程中会产生浓缩水虽为清下水,但需排入污水管网,不纳入总量控制; ③生产废水采用分类处理,酸碱废水通过pH调节及混凝沉淀进行废水的处理;含氟废水经含氟废水处理系统进行处理,纳入市政污水管网,进入丽水市水阁污水处理厂统一处理。 ④职工生活废水经三格化粪池处理达到《污水综合排放标准》(GB8978-1996)中三级标准,纳入市政污水管网,进入丽水市水阁污水处理厂统一处理。 ⑤做好各分区的防渗,确保废水不污染地下水。 |
废气 | ①酸性废气包含HF、HCl、硝酸,各工段废气经收集后通过支风管引至主风管,再通过主风管管道引至酸性废气洗涤塔(NaOH碱液喷淋)处理后通过15m高排气筒排放。 ②碱性废气为氨气,各工段废气经收集后通过支风管引至主风管,再通过主风管管道引至碱性废气洗涤塔(硫酸喷淋)处理后通过15m高排气筒排放; ③天然气燃烧废气最终经8m以上烟囱高空排放;要求企业在原料仓库及危废仓库设置负压排风系统,引风管道与废气洗涤塔相连;加强操作工人的自我防范、配备必要的劳保用品(口罩、眼镜等)以及按照规范操作等措施。 | |
噪声 | 合理布局;合理选型,选用低噪声设备;对于高噪声设备设置减振基础和安装消声器;加强设备保养;加强车间隔声;加强绿化。 | |
固废 | ①一般固废:项目一般废物为废水处理污泥、废渗透膜、生活垃圾收集后委托环卫部门清运处置。 ②危险废物:含氟废水处理污泥、危废包装容器等由企业分类收集后,委托有资质的处理单位进行处置;外运采用专门密闭车辆,防止散落和流洒。对危险废物的转移处理须严格按照国家环境保护部第5号令《危险废物转移联单管理办法》执行; ③一般工业废物:按照《一般工业固体废物储存、处置场污染控制标准》设置临时贮存场所,并根据其具体类型和性质进行相应的资源化或无害化处置。 |
经过预测分析,在采取上述污染防治措施后,本项目产生的废气、废水、噪声和固废的排放对环境影响不大。
四、环境影响评价初步结论
浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司中欣晶圆大直径硅片外延项目选址位于丽水南城七百秧区块D-28-5工业地块,项目选址基本符合《丽水市城市总体规划(2013-2030)》的要求,符合丽水市三线一单生态环境分区管控方案等相关规划要求,项目的实施符合相关法律法规以及国家和地方产业政策的要求,只要建设单位认真落实本报告提出的各项合理可行的污染防治措施,切实做到“三同时”,加强环境管理,做好环境污染防治工作,本项目建设和营运过程中各污染物均能达标排放,项目建设可满足当地环境质量要求及总量控制要求;因此,从环境保护角度看,该项目是可行的。
五、公众查阅环境影响报告的方式和期限
公众可以在本公示发布后的10个工作日内,到本项目的环评单位查阅环境影响报告书简本。公众认为必要时,在项目审批前可向建设单位或者环境影响评价单位索取环评补充信息。
六、征求公众意见的主要事项
征求公众意见范围主要为项目拟建址周围区域内的居民、单位等。征求公众意见的主要事项如下:
(1)公众对于本项目所在地目前的环境质量状况是否满意,影响当地环境质量的主要因素和环境污染的主要来源;
(2)公众对于本项目从环保角度考虑是否认可;
(3)公众就本项目对周围环境影响的意见;
(4)公众对本项目环境保护工作的建议。
七、征求公众意见的具体形式
公众可通过向公示指定联系方式发送信函、电话、电子邮件等,发表对浙江晶睿电子科技有限公司浙江晶睿电子晶圆片和外延片制造项目建设及环评工作的意见看法。
八、联系方式
(1)建设单位联系方式
建设单位:浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司
联系地址:丽水南城七百秧区块D-28-5工业地块
联系人:贺贤汉 联系电话:13621871147
(2)环境影响评价机构的名称和联系方式
评价机构:丽水市环科环保咨询有限公司
联系地址:莲都区丽南花苑1幢副楼2楼
联 系 人:李志 联系电话:0578-2142255
(3)环保部门联系方式
环评审批部门:丽水经济技术开发区环境保护局
联系地址:丽水经济技术开发区管委会大楼21楼
联系电话:0578-2600131
(4)建设项目所在街道联系方式
单位名称:莲都区人民政府南明山街道办事处
联系地址:丽水市莲都区绿谷大道50号
联系电话: 0578-2626218
浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司
2022年4月24日